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成功案例
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设备名称:硅片退火前超声波清洗机

设备型号: FWA-5160
清洗对象:蓝宝石硅片退火前超声波清洗机
使用厂家:福建三安光电股份有限公司

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详细参数 Parameter

4.1.1 设备结构外形如图一所示,整机主要由机架、槽体、前置式机械手、排风系统、电控单元、水路系统及气路系统等组成。         

4.1.2设备机架采用全不锈钢结构,外面板采用T1.0mm304不锈钢板材组装。

4.1.3 操作区采用左右推拉透明亚克力玻璃门结构。

4.1.4 槽体上部装有照明装置,照明装置和湿区隔离。

4.1.5 排风装置由引风窗和排风口组成,由用户自行与车间排风管道连接,动力用户提供。

4.1.6 具有风压检测功能,以及氮气、压缩空气压力报警功能。

4.1.7 电气控制部分位于设备左上部,与湿区隔离。操作区位于设备前方。

4.1.8 整机管路系统设置在设备后下方。

4.1.9 设备前、后下方均设有维护门。

4.1.10设备底部配有防腐脚轮和支撑地脚。

4.1.11 电气箱内部通入压缩空气作正压保护。

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