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设备名称:真空干燥式全自动超声波清洗机

设备型号:FWA-850TEK
清洗对象:集成电路芯片
使用厂家:爱普生精密电子 (苏州)有限公司

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详细参数 Parameter

FWA-850TEK型清洗机采用最新流行环保水基清洗工艺,具有如下优点。

(1)  设计先进、合理,充分考虑了环保和节能的要求;

(2)  独特的锯齿状四周溢流,清洗区液体干净,无二次污染;

(3)  采用全封闭式结构,运行部件设计充分考虑防止污染;

(4)  超声波震动板悬空式安装配合槽底倾斜式设计,槽体清洗清理方便快捷;

(5)  清洗过程中超声波+抛动辅助,有效提高清洗效率;

(6)  精巧的等工位移载结构能最大限度地减少辅助运行时间,保正工艺参数实施的准确性;

(7)  多臂机械手提升、横移均采用导轨导柱导向,定位准确、运行五平稳,流畅;

(8)  升降装置配有防压机构,压篮故障自动停机并报警,使用安全无忧;

 工作机理:

待清洗工件放入料框内,由人工将料框放上入料口,多臂机械臂按PLC指定的程序将料框搬送到相应工位;完成对工件的清洗、漂洗、漂洗、吸引干燥及真空干燥后、送至卸料台出料。多臂机械手由气缸横向驱动,直线滑轨导向;上下提升由马达驱动,直线导轴导向;采用触摸屏操作系统,有手动和自动切换开关及有关操作按钮,能对整个运行过程实行控制。

清洗工艺流程:

工艺名称

时间(min)

介质

过滤

方式

超声功率

超声频率

使用

温度

01

超声清洗

5-8

碱洗剂

循环

1200W

40Khz

60±5

02

超声清洗

5-8

纯水

自循环

1200W

40Khz

常温

03

超声清洗

5-8

纯水

自循环

1200W

40Khz

常温

04

超声清洗

5-8

酸洗剂

循环

1000W

80Khz

60±5

05

超声清洗

5-8

纯水

自循环

1000W

80Khz

常温

06

超声清洗

5-8

纯水

自循环

1000W

120Khz

80±5

07

吸引干燥

5-8

热风

循环

-

 

125±5

08

真空干燥

5-8

真空

抽气

-

-

80±5

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