设备型号：FWA-850TEK
清洗对象：集成电路芯片
使用厂家：爱普生精密电子 （苏州）有限公司
FWA-850TEK型清洗机采用流行环保水基清洗工艺，具有如下优点。
（1） 设计先进、合理,充分考虑了环保和节能的要求；
（2） 独特的锯齿状四周溢流，清洗区液体干净，无二次污染；
（3） 采用全封闭式结构，运行部件设计充分考虑防止污染；
（4） 超声波震动板悬空式安装配合槽底倾斜式设计，槽体清洗清理方便快捷；
（5） 清洗过程中超声波+抛动辅助，有效提高清洗效率；
（6） 精巧的等工位移载结构能最大限度地减少辅助运行时间，保正工艺参数实施的准确性；
（7） 多臂机械手提升、横移均采用导轨导柱导向，定位准确、运行五平稳，流畅；
（8） 升降装置配有防压机构，压篮故障自动停机并报警，使用安全无忧；
工作机理：
待清洗工件放入料框内，由人工将料框放上入料口，多臂机械臂按PLC指定的程序将料框搬送到相应工位；完成对工件的清洗、漂洗、漂洗、吸引干燥及真空干燥后、送至卸料台出料。多臂机械手由气缸横向驱动，直线滑轨导向；上下提升由马达驱动，直线导轴导向；采用触摸屏操作系统,有手动和自动切换开关及有关操作按钮，能对整个运行过程实行控制。
清洗工艺流程：
|
序 |
工艺名称 |
时间(min) |
介质 |
过滤 方式 |
超声功率 |
超声频率 |
使用 温度 |
|
01 |
超声清洗 |
5-8 |
碱洗剂 |
循环 |
1200W |
40Khz |
60±5℃ |
|
02 |
超声清洗 |
5-8 |
纯水 |
自循环 |
1200W |
40Khz |
常温 |
|
03 |
超声清洗 |
5-8 |
纯水 |
自循环 |
1200W |
40Khz |
常温 |
|
04 |
超声清洗 |
5-8 |
酸洗剂 |
循环 |
1000W |
80Khz |
60±5℃ |
|
05 |
超声清洗 |
5-8 |
纯水 |
自循环 |
1000W |
80Khz |
常温 |
|
06 |
超声清洗 |
5-8 |
纯水 |
自循环 |
1000W |
120Khz |
80±5℃ |
|
07 |
吸引干燥 |
5-8 |
热风 |
循环 |
- |
|
125±5℃ |
|
08 |
真空干燥 |
5-8 |
真空 |
抽气 |
- |
- |
80±5℃ |
