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设备名称:半导体器件全自动超声波清洗机

设备型号:FWA-320EB
清洗对象:晶圆环、晶片盒、晶片框、托盘
使用厂家:记忆科技

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详细参数 Parameter

清洗产品:

产品类型1,晶圆环,200只,每筐20圈,4.5小时

Product Type 2 – Wafer Cassette - < 2 per day, 2 cassettes per basket, 1.5 hours.

产品类型2–晶片盒- < 2每天,每筐2盒,1.5小时。

Product Type 3 – Magazine – 100 pcs per day, 8 magazines per basket, 5 hours per day.

产品类型3:杂志社,每天100件,每筐8份杂志,每天5小时。

 

Product Type 4 – Trays (JEDEC) – 50 trays per day, 30 trays per basket, 2 hours max. per day.

产品类型4–托盘(JEDEC每天50盘,30盘,每筐,每天2小时最大。

 

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